Поиск по МГУ | Лента новостей | В картинках | Работа | Форум | MsuWiki | Карты | Ссылки | Партнеры | О проекте
Новости
Университет
Карьера
Поступление
Наука
Интернет
Происшествия
Космос
Спорт
Строительство
Филиалы

Факультеты
Институты

MsuWiki
Университет
Работа
Поступление
Учеба
Студенты
Выпускники
Наука
Конференции
Культура
Спорт
Интернет

Факультеты
Институты
Центры
Филиалы


Наука

Чтобы увидеть элементы микросхемы, учёные МГУ используют растровый электронный микроскоп.
Чтобы увидеть элементы микросхемы, учёные МГУ используют растровый электронный микроскоп.
Фото с сайта www.nanorf.ru. Автор Игнат Соловей
На физфаке МГУ им. М. В. Ломоносова разработана технология неразрушающего исследования микросхем методом электронной микротомографии
13.03.11 10:07 | MsuNews.Ru

В последние годы микроэлектроника интенсивно переходит в наноэлектронику. Существенно усложняется контроль и диагностика микросхем из-за постоянно уменьшающихся размеров их отдельных компонентов. Когда-то счет шел на микроны, потом на субмикроны, а теперь – на десятки нанометров. На больших микросхемах, которые установлены в компьютерных процессорах, размер кристалла составляет несколько миллиметров. А таких элементов там может быть более миллиарда – и все это на очень малых площадях. Микросхемы все чаще выполняются многослойными и если вдруг на каком-то слое происходит сбой в работе, то крайне сложно определить, где именно появился дефект.

По сообщению электронного журнала «Нанотехнологии и их применение», в объединнной лаборатории по микроскопии и электронной микротомографии на физфаке МГУ им. М. В. Ломоносова разработан метод, позволяющий получать качественное изображение отдельных тонких слоев микроструктуры. Базируется он на детектировании части обратно рассеянных электронов, профильтрованных по их энергии. Для анализа электронов учные использовали оригинальный спектрометр с тороидальными электродами. Авторы адаптировали его к растровому микроскопу для получения качественных изображений.

Чтобы располагать дополнительной информацией о распределении потенциальных барьеров в исследуемой структуре, нужно провести одновременное детектирование электронно-индуцированного потенциала на образце. В этом режиме датчиком сигнала служит металлическое кольцо, помещнное непосредственно между спектрометром и поверхностью тестируемой структуры. Этот сигнал поступает на экран микроскопа, формируя картину всех электрически активных фрагментов полупроводникового кристалла или микросхемы.

Учные подчеркивают, что диагностика неразрушающая и не требует электромеханических контактов для доступа к любым элементам микросхемы, что делает ее пригодной для тестирования и контроля качества изделия на всех технологических этапах производства прибора. Другими словами, эти методы пригодны как для тестирования объемного (трехмерного) строения тонкопленочных многослойных микро и наноструктур, так и для картографирования всех электрически активных элементов исследуемого образца (локальных потенциальных барьеров, дефектов полупроводникового кристалла, распределения примесей и скопления рекомбинационных центров).



Присоединяйтесь к нам в соцсетях:
FacebookTwitterВконтактеTelegramInstagram


Новости раздела

Астрономы МГУ имени М.В Ломоносова открыли горячий белый карлик рекордно большой массы
18.09.20 00:55 | MsuNews.Ru
Специалисты Государственного астрономического института имени П.К. Штернберга, входящего в состав МГУ, открыли и исследовали белый карлик с очень необычным набором свойств. Он имеет атмосферу из гелия и водорода с температурой около 31000К.

Преподаватель мехмата МГУ удостоен международной премии по математике Presburger Award
28.07.20 01:54 | MsuNews.Ru
Преподаватель механико-математического факультета МГУ имени М.В. Ломоносова Дмитрий Жук стал обладателем престижной международной премии по математике Presburger Award. Она была учреждена десять лет назад для поощрения молодых ученых…

Научный парк МГУ сообщил о запуске второго российско-китайского конкурса инноваций и предпринимательства
14.07.20 11:29 | MsuNews.Ru
Научный парк Московского государственного университета имени М.В. Ломоносова и Китайская ассоциация по международному обмену запустили второй российско-китайский конкурс инноваций и предпринимательства. Заявки принимаются до 22 июля 2020 года…



Rambler's Top100
 
© 2003−2020 MsuNews.Ru – Новости МГУ
© 2003−2020 Разработка и дизайн – MMForce.Net
О проекте | Обратная связь | Разместить рекламу
Условия использования | Экспорт новостей (RSS)